UV-M03A
它是一種小巧輕便的手持式測量儀器。 它適用于管理生產(chǎn)車間配備紫外線燈的設(shè)備。 請用它來控制紫外線燈的紫外線照射量(照度和光強(qiáng)度)。
它是一種小巧輕便的手持式,可以輕松管理光刻設(shè)備的照度和光強(qiáng)度。
可以很容易地測量紫外線照度和光強(qiáng)度。
根據(jù)您正在使用(或計劃使用)的光源和光刻膠的靈敏度選擇 UV-25、35 或 42 的接收器。 但是,在電子電路(印刷電路)板的制造過程中使用時,建議選擇UV-SN25、UV-SN35和UV-SN42,在半導(dǎo)體和液晶基板的制造過程中使用UV-SD25、UV-SD35和UV-SD42
測量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。
它還具有模擬輸出。
SN模式已被長期使用我們的光刻設(shè)備和輻照設(shè)備的客戶廣泛采用,并保證了工藝管理的連續(xù)性。
SD型推薦給在半導(dǎo)體和液晶基板的制造過程中已經(jīng)使用其他公司生產(chǎn)的測光表的客戶,以及需要確保與這些測量儀器的數(shù)據(jù)兼容性的客戶(SD型也用于我們的光刻設(shè)備中的液晶基板的投影光刻設(shè)備和外圍光刻設(shè)備),以及使用全新測光表的客戶。
為了保證舊過程數(shù)據(jù)的兼容性,使用SN型為SD型提供指示值(在相同測量條件下測量用作校準(zhǔn)輻射源的高壓UV燈的365nm發(fā)射線時顯示的照度值: mW/cm2)。
與可見光照度計(以LUX單位測量家庭、辦公室、商店、博物館等亮度的照度計)不同,適用于所有紫外線照度計的標(biāo)準(zhǔn)尚未建立(似乎正在為少數(shù)有限的應(yīng)用進(jìn)行JIS轉(zhuǎn)換工作)。
即使各公司的相對光譜靈敏度是以365nm發(fā)射線為主要組成的光源測量照度而制作的,也從測量的峰值波長(相對光譜靈敏度特性的波長用1表示),短波長側(cè)(約300nm~310nm)和長波長側(cè)(約380nm~400nm)的上升開始。 下降的波長和它前后的曲線略有不同。
此外,在設(shè)計方面已經(jīng)做出了努力,使感光器的感光角特性(據(jù)說是COSθ特性)更接近理想曲線,但現(xiàn)實(shí)情況是它們尚未實(shí)現(xiàn)。
接收器(可互換) UV-SD35 (UV-SN35)
測量波長范圍 310~385納米
測量照度范圍 0.001~50mW/cm2
測量光范圍 0.001~19999mJ/cm2
對準(zhǔn)精度 在紫外線標(biāo)準(zhǔn)的1.5%以內(nèi)±
重復(fù)性 1.5%±以內(nèi)
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